派瑞林涂層工藝采用獨(dú)特的真空氣相沉積工藝制備，在真空條件下活性小分子在基材表面“生長(zhǎng)“出敷形的聚合物薄膜涂層，派瑞林真空氣相沉積工藝：升華、熱解、沉積和聚合、收集。

一、升華

在該方法的第一步中，加熱稱為二聚體的粉末狀原料。當(dāng)溫度接近150攝氏度時(shí)，二聚體升華成氣體而不通過(guò)液態(tài)。此時(shí)，二聚體氣體準(zhǔn)備好進(jìn)入沉積過(guò)程的下一階段。

二、熱解

二聚體氣體實(shí)際上由兩個(gè)粘合在一起的聚對(duì)二甲苯分子組成。在熱解階段，將氣體在爐中進(jìn)一步加熱至高達(dá)700攝氏度的溫度。熱量將分子分開(kāi) - 形成單體。當(dāng)單體蒸汽在沉積階段到達(dá)待涂覆的物品時(shí)，該單體蒸汽成為派瑞林（即聚對(duì)二甲苯）保形涂層。

三、沉積和聚合

保持待涂物品的容器減壓以產(chǎn)生真空。該真空將聚對(duì)二甲苯氣體從熱解室吸出并進(jìn)入沉積室。在保持在正常室溫下的那個(gè)室中，派瑞林（即聚對(duì)二甲苯）蒸汽變成聚合物，涂覆它接觸的所有物質(zhì)。在沉積過(guò)程中，派瑞林（即聚對(duì)二甲苯）氣體冷卻而對(duì)被涂物品沒(méi)有任何有意義的加熱效果超過(guò)幾度。

四、收集多余涂層物質(zhì)

將派瑞林（即聚對(duì)二甲苯）氣體拉過(guò)沉積室的真空泵在處理廢氣中也起著重要作用。當(dāng)氣體離開(kāi)腔室時(shí)，泵通過(guò)冷阱將其拉出。通常冷卻到極端零下溫度收集多余的聚對(duì)二甲苯固化，從而可以將其處理掉。